Specifikacija
Titanium Tube Target je cilindrični oblik titanijskog materijala koji se prvenstveno koristi u procesima raspršivanja i taloženja tankog{0}}sloja. Slično pločastim metama od titana, služe kao meta za taloženje titanovih filmova na različite podloge, ali njihov cjevasti oblik čini ih prikladnima za posebne primjene gdje su cilindrične mete potrebne za učinkovitije raspršivanje ili premazivanje.
Titanium Tube Target je cilindar ili šuplja cijev od titana visoke-čistoće, projektirana da služi kao potrošni izvorni materijal u specijaliziranom obliku magnetronskog raspršivanja, procesu fizičkog taloženja parom (PVD). Njegova funkcija je da bude ravnomjerno erodiran ionskim bombardiranjem tako da njegovi atomi mogu formirati tanku, postojanu prevlaku na podlozi.
Specifikacija
Uobičajene ocjene
Komercijalno čisti titan (ASTM B338 Gr1 ili Gr2), titan-6aluminij-4vanadij (ASTM B338 Gr5 / Ti-6Al-4V).
Čistoća
Za Gr1/Gr2, sadržaj titana obično je veći ili jednak 99,5%. Za legure, sastav je u skladu s ASTM standardima.
Kontrola nečistoća
Stroga kontrola međuprostornih elemenata kao što su kisik (O), dušik (N), ugljik (C) i vodik (H) kako bi se osigurala učinkovitost.
Fizičke dimenzije i dopuštena odstupanja
Vanjski promjer (OD)
Prilagodljiv, uobičajeni raspon od 50 mm do 200 mm.
Unutarnji promjer (ID)
Određeno OD i debljinom stijenke.
Debljina stijenke
Obično između 3 mm i 15 mm, ovisno o primjeni i promjeru.
Duljina
Prilagodljive, standardne duljine do 3000 mm.
Tolerancije dimenzija
| OD tolerancija | ±0,5 mm |
| Tolerancija debljine stijenke | ±5% do ±10% |
| Ravnost | < 1.0 mm per meter |
| Okomitost krajnjih stranica | Specificirano prema potrebi. |
Metalurška i mehanička svojstva
Gustoća
Veći ili jednak 98,5% teorijske gustoće.
Mikrostruktura
Fino{0}}zrnat, ujednačen i bez nedostataka poput poroznosti, pukotina i inkluzija.
Veličina zrna
Obično ASTM 6.0 ili finiji.
Kvaliteta površine
Kvaliteta površine
Površinska obrada
Strojno obrađeno do glatke površine, obično s hrapavošću (Ra) manjom od ili jednakom 1,6 µm ili boljom.
Stanje
Čist, suh i bez ulja, masti, oksida i drugih nečistoća. Često se isporučuju sa zaštitnim premazom ili-vakumirano.
Proces izrade
Proizvedeno od kovanih ili vruće{0}}valjanih šipki, nakon čega slijedi precizna strojna obrada, bušenje i brušenje kako bi se postigle konačne dimenzije i završna obrada površine.
Potpuno žaren za smanjenje unutarnjih naprezanja.
Ključna prednost
Veća iskoristivost materijala:Glavni ekonomski pokretač. Prije nego što se meta mora zamijeniti, koristi se više skupog titana.
Dulji radni vijek:Smanjeno vrijeme zastoja za promjene ciljeva.
Stabilnija plazma i brzina taloženja:Dovodi do dosljednije kvalitete filma tijekom dugih proizvodnih serija.
Bolje za-aplikacije velike snage:Cilindrični oblik i rotacija omogućuju učinkovitije hlađenje.
Primjena
Cijevaste mete od titana preferiraju se u industrijama koje zahtijevaju-veliki volumen, jednoličan i-cijenovno učinkovit premaz.
Arhitektonsko i automobilsko staklo:Nanošenje titana kao adhezijskog sloja za naknadne slojeve srebra ili nitrida u energetski-učinkovitom nisko-E (nisko-emisivnom) staklu.
Fleksibilna elektronika i pakiranje:Oblaganje polimernih mreža za solarne ćelije, prozirnih vodljivih filmova i visoko{0}}zaštitnog pakiranja hrane/medicine.
Web premaz:Kontinuirano premazivanje rola materijala za dekorativne, funkcionalne ili optičke svrhe.
Ravni zasloni-velike površine:Za premaze na TV-u, monitoru i zaslonima osjetljivim na dodir.
Industrijski alati:Nanošenje -premaza od titan nitrida (TiN) otpornih na habanje na serije alata ili komponenti.
Popularni tagovi: meta od titanijske cijevi, proizvođači, dobavljači, tvornica cilja od titanijske cijevi u Kini, Titanska kružna meta, Meta od titanske ploče, meta od titana, Meta od titanske cijevi

